光刻机巨头ASML创业小故事:从破产边缘迈向成功

极客网·极客观察4月2日 1984年的时候,光刻机巨头ASML曾在一天之内设定产品路线图,这段往事值得我们好好回味。

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1984年11月中旬,ASML经理、高级工程师坐上大巴,往北行驶。20人在维多利亚酒店(位于凡高国家森林公园附近)呆了2天,进行团队建设、培训。他们要奋力追赶,加速前进。总之,大家的目标就是让新机器早一点做好准备。

当时飞利浦半导体和材料部(以下简称Elcoma)希望能在1986年4月1日拿到PAS 2500光刻机,然后ASML想在国际半导体展览会Semicon West上展示机器。也就是说ASML只有一年多的时间设计、制造新系统。ASML总经理Gjalt Smit给团队定出最后期限:1986年1月1日。高管们讨论着如何让计划变成现实。

前两代机器均为接触接近式光刻机,曝光方式为接触接近式,使用光源分别为g-line和i-line。从80年代开始芯片产业使用的是g-line,ASML要引入i-line。当时ASML已经挑选好了技术,也就是i-line,接下来要全速前进。

培训开始的第一天,两名来自飞利浦的培训员讲课,他们告诉大家如何以更快的速度将创意变成机器。如果是在飞利浦,整个流程一般要9-12年时间,这次他们拿出新方案,可以将时间缩短为7年。不过如果ASML想达到Elcoma设定的目标,拥有的时间只有一年多。

第二天,培训继续,但Gjalt Smit闯了进来,他告诉大家培训结束了。就在前一天晚上,Gjalt Smit刚拜访完美国客户,坐飞机回来。他说:没有时间了,整个团队必须重新思考产品路线图。

Gjalt Smit指出,如果继续开发i-line光刻机,公司也许可以成为科技领先者,但这样的机器不会有人买,因为整个行业的基础设施、材料全部是以g-line作为基础的。Gjalt Smit希望大家开发一台光刻机,在1985年的Semicon West展会上展示。大家心想:你丫的疯了吗?只给6个月开发新机器,怎么可能?

大家讨价还价,Gjalt Smit不愿意妥协,截止日期不能变,必须在预定时间内开发出PSA 2500。当时Martin van den Brink也参加了会议,他是一名新手(现在是ASML CTO)。Brink 2015年8月回忆说:“当时Gjalt Smit强迫我们加速前进,刚下飞机就给出让人为难的命令,我心想:为什么他要这样做?现在回想起来,那会真是到了关键时刻。我们与大学生坐在一起,他们彼此不认识,没有一个人知道光刻机是怎么回事。现在回想起来恍如昨日。”

开发软件的Wim Hendriksen也参加了会议,他回忆道:“当时Gjalt告诉我们说:客户希望早一点交货。作为脚踏实地的荷兰人,我们与客户没什么联系,但Gjalt与他们在沟通。所以他闯进培训室,将一切推倒重来。他说:必须在1985年5月之前拿出机器,否则我们就会破产。那一天的培训以混乱结束。当我们离开大楼时,纸文件堆了一米高。讨论是有意义的,我们有一套可行的方案。”

当时ASML的光刻机是以油驱动的,新方案将油换成了电。电技术已经存在,但ASML并没有使用。飞利浦研究实验室已经从概念上验证过引入直线电机的可能性,但没有转化为产品。根据这一概念,ASML开发出PAS 2400,它相当于过渡产品。从本质上讲,就是把PAS 2000光刻机与由直线电机控制的圆晶台结合在一起。

在1985年的Semicon West展会上,AMD、Cypress、National Semiconductor表示对PAS 2400感兴趣。后来AMD挑了四家公司供货,ASML是其中之一。

这段往事告诉我们,服务客户时,没有必要时时刻刻追求100%完美,只要效率足够好,有时机器有些缺点也是可以接受的。走过创业阶段之后,AMSL要与竞争对手抢市场,它的宗旨就是及时为客户提供正确的技术,制造最可靠的机器并不是最重要的。自PAS2400之后的每一代机器都是这样的,一直到EUV。客户拿到新机器,有时接下来几年都不好用,但它们还是愿意购买。为什么ASML还要生产呢?因为它想传达一个信号:我们仍在沿着摩尔定律前进!

希望这个老故事能给中国的光刻机研究人员带来参考。(小刀)

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