韩媒:ASML高管访问三星半导体工厂,促进EUV设备领域的合作

据businesskorea报道,三星正寻求加强与荷兰半导体设备制造商ASML的技术和投资合作。

该报道称,包括CEO Peter Burnink在内的ASML高管于上周访问了三星的半导体工厂,讨论了在EUV光刻机供应和开发方面的合作。

ASML高管与三星副董事长金基南进行了会谈。业内人士认为,三星在此次会谈中要求ASML供应更多的EUV光刻机,并讨论了双方在开发下一代EUV光刻机方面的合作。

据悉,三星需要更多的EUV光刻机来扩大其在全球晶圆制造市场的份额。然而,作为世界上唯一的EUV光刻机制造商,ASML向台积电提供的设备要多于三星。

因此三星希望与ASML建立技术联盟,以确保下一代EUV光刻机的供应。对于ASML来说,与三星的投资合作是必要的,因为开发下一代EUV光刻机需要大量投资。

该报道指出,三星希望投资开发高数值孔径的EUV光刻机,以提高半导体微制造所需的电路分辨率。该设备的价格预计为每台5000亿韩元,比目前的EUV设备高出2到3倍。ASML计划在2023年年中推出该设备的原型,三星则希望优先获得ASML的供应,以在技术上领先台积电。

不过,三星一位官员表示,会议并没有做出具体的投资决定。他说,ASML高管到访三星是为了回应李在镕10月份访问ASML总部。

另有消息称,ASML的高管此次还会面了SK海力士总裁李石熙,双方讨论了扩大UV设备供应和促进合作的途径。

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2020-12-01
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