阿斯麦正研发下一代极紫外光刻机 计划2022年年初开始出货

3月16日消息,据国外媒体报道,在推出两代极紫外光刻机之后,阿斯麦公司又已在研发下一代极紫外光刻机,计划2022年年初开始出货。

阿斯麦是在2019年的年报中,披露他们正在研发下一代极紫外光刻机的,计划在2022年年初开始出货,2024/2025年大规模生产。

在年报中,阿斯麦还披露,他们正在研发的下一代极紫外光刻机,将采用 High-NA技术,有更高的数值孔径,分辨率和覆盖能力较他们当前的极紫外光刻机将提高70%。

光刻机是芯片生产中非常关键的设备,在工艺提升到7nm EUV、5nm之后,已只有极紫外光刻机能满足要求,阿斯麦则是目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商。

阿斯麦所生产的极紫外光刻机,光源的波长缩短到了13.5nm,而极紫外光刻机之前最先进的深紫外光刻机,使用的则是波长为193nm的光源。

作为目前全球唯一有能力制造极紫外光刻机的厂商,阿斯麦已经推出了两款极紫外光刻机,分别是TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C,可用于生产7nm和5nm的芯片,后者是最新推出的,去年共交付了9台。

阿斯麦的年报显示,他们去年共向客户交付了26台极紫外光刻机,较2018年的18台增加了8台,带来了27.997亿欧元(折合约31.43亿美元)的营收。

(免责声明:本网站内容主要来自原创、合作媒体供稿和第三方自媒体作者投稿,凡在本网站出现的信息,均仅供参考。本网站将尽力确保所提供信息的准确性及可靠性,但不保证有关资料的准确性及可靠性,读者在使用前请进一步核实,并对任何自主决定的行为负责。本网站对有关资料所引致的错误、不确或遗漏,概不负任何法律责任。
任何单位或个人认为本网站中的网页或链接内容可能涉嫌侵犯其知识产权或存在不实内容时,应及时向本网站提出书面权利通知或不实情况说明,并提供身份证明、权属证明及详细侵权或不实情况证明。本网站在收到上述法律文件后,将会依法尽快联系相关文章源头核实,沟通删除相关内容或断开相关链接。 )

赞助商