中微公司首台Primo Menova 12寸金属刻蚀设备交付国内头部晶圆厂
极客网24日讯 中微半导体设备有限公司今日宣布，其自主研发的Primo Menova 12英寸金属刻蚀设备首台机已成功交付国内某重要集成电路制造服务商。该设备采用先进等离子体刻蚀技术，专为金属Al线/Al块刻蚀工艺优化设计，工艺窗口宽泛，刻蚀均匀性优异。
作为晶圆厂金属化工艺核心装备，Primo Menova可满足功率半导体、存储芯片及先进逻辑器件制造需求。其成功交付标志着国产高端刻蚀设备在金属刻蚀领域取得重要突破，将有效提升国内晶圆厂在关键工艺环节的自主可控能力。
行业分析师指出，该设备量产应用将助力国内客户突破金属互连工艺瓶颈，对完善本土半导体产业链具有重要意义。中微公司表示将持续深化技术创新，为全球客户提供更具竞争力的半导体装备解决方案。
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